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氮化钽,TaN

氮化钽,TaN

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  • 发布日期:2020-08-05 10:41:34
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氮化钽(Tantalum mononitride)为黑色六方结晶,分子式为TaN,分子量为194.95。 相对密度为13.4,熔点为3090℃,显微硬度为1100kg/mm2,热导率为9.54W/(m·K),电阻率为128μΩ·cm。δ氮化钽为黄绿色结晶,属氯化钠型结晶,相对密度为15.6。晶格常数为a=0.4336nm,c=0.4150nm。熔点为2950℃,显微硬度为3200kg/mm2,转化点温度为17.8K。不溶于水、酸,微溶于王水,溶于氢氧化钾并分解释放出氨,加热至2000℃即释放出氮气。

1、用来制造片状电阻的材料,氮化钽电阻则可抵抗水汽的侵蚀。

2、用作超硬质材料添加剂,可制备纯的五氯化钽:用于喷涂,增加变压器、集成线路、二极管的电稳定性。在制造集成电路的过程中,这些膜沉积在硅晶片的顶部,以形成薄膜表面贴装电阻。用来制造片状电阻的材料,氮化钽电阻则可抵抗水汽的侵蚀。氮化钽材料被用于制作芯片导线的保护层。


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