蒸发舟的操作

1．新蒸发舟使用时，通过屏幕操作控制准确时间，逐渐将电压提升，每次提升持续5分钟，

     然后再次提升（例如7v-8v-9v）。或按镀铝机设定的程序启动。逐渐升压加热蒸发舟进

     行退火，以便释放内部应力，同时舟材料内部吸收的气体也被释放出去。铝丝与蒸发舟

     相融，约需20分钟使其润湿。润湿太快将降低蒸镀气体的稳定性，并大大地缩短蒸发舟

     的使用寿命。

2．操作时间越长，蒸发舟越热。必须保持电压持续下降（视飞溅现象而定）。电压下降同

     时，注意减少铝丝的进给量。连续生产时，头一卷膜蒸镀结束时的蒸发舟电压比蒸镀开

     始蒸发舟启动时的电压要低些。高阻值蒸发舟（650MOC）下调电压所需时间比低阻值

     的蒸发舟要长些。几乎所有物质的电阻都会随温度的变化而变化，通常情况下，温度升

     高其阻值也增大。15000C时的高温电阻率是蒸发舟设计时使用和定型的电阻率，它和

     蒸发电源相匹配的。（高温电阻率是室温电阻率的若干倍）

3．蒸发舟头一次使用后用刷子轻轻清刷舟槽表面的铝渣，以后每次使用都要用钢丝刷清刷。

     每次清刷工作完毕，要检查蒸发舟，以确保它被夹紧。否则启动时会跳动。

4．当启动蒸发舟，但其中有一个没有点着，不要继续送铝丝产生弧光直到点燃。应该先调

     整铝丝向前靠近蒸发舟，然后再启动蒸发舟，使它点燃。否则不仅会破坏夹具，而且会

     毁坏蒸发舟和缩短蒸发舟的寿命。

5．具有较大的铝附着面的蒸发舟，其蒸发范围更宽，蒸镀层易控制，并且持续蒸发的时间

     最长。

     蒸发温度太高，蒸发率会增加，但蒸发模式更垂直地向薄膜方向蒸镀。（蒸发温度每增

     高750C，铝的蒸发率会增加约一倍）

     蒸发舟的工作温度升高时，所利用舟槽的面积会变小，而且当温度升高时，陶瓷材料的

     腐蚀速度也会成倍的增加，蒸发角度的变小又会使镀膜的横向均匀度变差。（引起蒸镀

     黑色条纹）

     蒸发质量的好坏和蒸发舟寿命的长短，直接体现操作者控制蒸发舟温度和铝面附着面积

     的能力。蒸发舟头一次润湿时，铝在舟上形成的接触面处理是至关重要的。蒸发舟所能

     达到的寿命取决于头一次运行期间铝的熔化层在舟上所形成的表面区域的大小。（液铝

     覆盖区域减少时，被减少的液铝区域，会覆有一层铝渣，一旦生成这种铝渣后，就需要

     更高的舟温来维持原来的蒸发送丝速率，从而缩短了蒸发舟的寿命）

     操作者通过努力大限度的降低蒸发舟温度，（蒸发舟的颜色应该是亮橙色的白色意味着

     温度太高，红色意味着温度太低。）以及每卷蒸镀完成后的清洁步骤，尽可能小心地增

     大液铝覆盖接触表面。

6．在镀包装膜时，铝丝的一般蒸发速率为0.3gms/cm2/min，能使镀膜速度、蒸发舟的寿

     命和横向均匀度达到很好的平衡。在这个速率下，舟槽的面积为25-30 cm2 （蒸发舟加

     热功率为85%），可达6.6 gms/ min的蒸发量，蒸发舟的工作温度约为15350C，寿命

     为15-20小时。

7．蒸发舟的寿命直接受工作环境温度的影响。

     蒸发舟由2到3种陶瓷粉压制而成，由硼化钛（TiB2）导电粉和绝缘的氮化硼（BN）粉

     混合在一起，氮化铝（ALN）有时也作为一种组分以增加陶瓷的抗弯强度和对铝的润湿

     性。蒸发舟使用时，铝会在硼化钛（TiB2）分子间渗透舟的表面，并和氮化硼（BN）

     反应生成ALN和B，B继续和AL反应生成ALB12，同样氧化铝（AL2O3）由铝丝表面进

     入舟槽表面，和BN及B反应生成B2O3，和ALN。硼化钛（TiB2）和氮化铝（ALN）都

     会在标准的汽化温度下生成气态化合物逸出，氮化硼（BN）减少，此物质决定了蒸发

     舟的寿命。温度越高，氮化硼（BN）减少越快，蒸发舟的寿命越短。  

蒸发舟的安装

1．蒸发舟的两头的舟夹夹紧部分的长度应该保持一致，并保证好的电气和机械接触，以

     免在舟夹上产生额外的热量。确保舟的两侧温度的一致，防止舟弯曲。将蒸发舟嵌入

     石墨片和舟夹，如果压力过大会引起裂舟。新舟头一次使用时如果安装得太松或太紧

     都不好，应看一下舟夹的说明书。操作人员应对蒸发舟的机械加工公差十分注意（舟

     的长度、宽度以及平行度都是非常重要的。）使用石墨片来排除舟与舟夹之间的间隙，

     改善它们的接触。舟两端与舟夹之间要具有足够的压力，同时还要保证舟在加热时能

     够膨胀伸缩。夹具活动的一侧应将氧化铝清除。

2．装舟时可保持一定的倾斜度，（送铝丝端略高）有利于液铝流动到舟的末端。这对于

     增加液铝铺展面积、提高蒸发舟的寿命和提高镀膜的均匀度是重要的。蒸发舟在横向

     应保持在水平面上。

3．实际镀膜时，应将铝丝送到舟的1/3—1/2位置，操作人员要考虑到舟温度高时铝丝

     会下垂的因素。同时也要将铝丝送到舟槽的中心线位置。

4．避免接触舟槽的表面，以免弄脏，这会降低舟槽表面对液铝的润湿性。

5．打开包装后，避免舟表面沾上水，舟中的氮化硼成分很容易吸收水分，在加热时水分

     汽化膨胀导致炸舟。