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一种制备钴硅化物的方法
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一种制备钴硅化物的方法
2022-10-22
摘要：目前的钴硅化物制备工艺通常采用双层金属的办法,即Co/Ti法,通过在Co金属的上方淀积一定厚度的Ti金属,来消除外界条件(如净化室和反应腔体中的氧)和硅片表面天然氧化物对Co形成硅化物的影响。我们在Co的上下分别PVD淀积一
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